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马鞍山收购废旧单晶炉,回收拆除提拉式单晶炉公司报价咨询

 
 
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发货 安徽芜湖市付款后3天内
库存 1件起订1件
品牌 进口/国产
型号 不限
生产时间 不限
过期 长期有效
更新 2023-04-06 06:56
 
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芜湖禾梦再生资源回收利用有限公司

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  • 安徽-芜湖市
  • 上次登录 2023-04-03
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  • 王经理 (先生)  
详细说明


单晶炉简介:

单晶炉构成

编辑 播报

提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成

 副室:主要是副室筒以及上下法兰组成

 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成

 炉筒:包括取光孔

 下炉筒:包括抽真空管道

 底座机架:全铸铁机架和底座

 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成

 分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等

 氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件

 真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等

 电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线

原理


首先,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3~5mm的细颈,用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程就是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩;接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;最后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程就基本完成,进行一定的保温冷却后就可以取出。


直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产效率高,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。


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